プレート
材質 :A7075
SIZE:230mm X 160mm X t10mm
加工 :両面研削加工
精度 :平面度、平行度 0.01mm以下
吸着プレート
材質 :SUS440C
SIZE:200mm X 200mm X t15mm
加工 :両面研削加工
精度 :平面度、平行度 0.01mm以下
メッシュカゴ
材質 :SUS304
SIZE:440mm X 320mm X t60mm
加工 :板金、溶接
支柱
材質 :純チタン
SIZE:φ10mm X 70mm
加工 :旋盤加工
精度 :外径、長さ ±0.01mm以下
多孔質吸着プレート
材質 :アルミナ多孔質材(気孔径 2μm)
台座 A5052
SIZE:165mm X 160mm X t15mm
加工 :多孔質面 研削加工
精度 :多孔質面 平面度0.02mm以下
セラミックプレート
材質 :窒化アルミ
SIZE:120mm X 150mm X t5mm
加工 :両面研削加工
精度 :平面度、平行度 ±0.01mm程度
断熱プレート
材質 :マイカレックスMM400
SIZE:180mm X 180mm X t5mm
加工 :両面研削、ラップ仕上げ
精度 :平面度、平行度 0.01mm程度
断熱ブロック
材質 :マイカレックスMM600
SIZE:25mm X 50mm Xt3mm
25mm X 25mm Xt3mm
加工 :切削加工
断熱パーツ
材質 :ロスナボード
SIZE:10mm X 40mm Xt5mm
加工 :切削加工